隨著(zhu)工業快速(su)的(de)(de)(de)(de)發展(zhan)，對(dui)(dui)精(jing)密(mi)測(ce)量技(ji)術的(de)(de)(de)(de)要(yao)求越來越高(gao)(gao)，位(wei)移測(ce)量技(ji)術作為幾(ji)何(he)量精(jing)密(mi)測(ce)量的(de)(de)(de)(de)基礎，不(bu)僅需要(yao)超高(gao)(gao)測(ce)量精(jing)度(du)(du)，而(er)且(qie)需要(yao)對(dui)(dui)環境和(he)材料的(de)(de)(de)(de)大量適應性，并且(qie)逐步趨于(yu)實時(shi)、無(wu)損檢測(ce)。與傳統接觸(chu)式測(ce)量方(fang)法相比(bi)，光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)位(wei)移傳感(gan)器具有高(gao)(gao)速(su)度(du)(du)，高(gao)(gao)精(jing)度(du)(du)，高(gao)(gao)適應性等明顯優勢。本文通過對(dui)(dui)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)傳感(gan)器應用場景的(de)(de)(de)(de)分析(xi)，有助于(yu)廣大讀(du)者進一步加深對(dui)(dui)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)傳感(gan)器技(ji)術的(de)(de)(de)(de)理解。得益于(yu)納米級(ji)精(jing)度(du)(du)及超好的(de)(de)(de)(de)角度(du)(du)特性，光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)位(wei)移傳感(gan)器可(ke)用于(yu)對(dui)(dui)表面粗糙度(du)(du)進行高(gao)(gao)精(jing)度(du)(du)測(ce)量。相對(dui)(dui)于(yu)傳統的(de)(de)(de)(de)接觸(chu)式粗糙度(du)(du)儀，光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)位(wei)移傳感(gan)器以更(geng)高(gao)(gao)的(de)(de)(de)(de)速(su)度(du)(du)采集粗糙度(du)(du)輪廓，并且(qie)對(dui)(dui)產品表面無(wu)任何(he)損傷(shang)。光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)技(ji)術在材料科學領域(yu)可(ke)以用于(yu)材料表面和(he)內部的(de)(de)(de)(de)成像和(he)分析(xi)。宿州光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)的(de)(de)(de)(de)用途和(he)特點

精密幾何量計量測(ce)試(shi)中光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)十分重要，其能夠讓(rang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)效率得(de)到提升。在進行(xing)應(ying)用(yong)的(de)(de)(de)過(guo)程中，其首先(xian)需要對光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)原理(li)進行(xing)分析，然后(hou)對其計量的(de)(de)(de)傳感器(qi)進行(xing)綜合性(xing)的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)。從而獲取較為(wei)(wei)(wei)準確(que)的(de)(de)(de)測(ce)量數據。讓(rang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦技(ji)(ji)術(shu)(shu)的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)效果發(fa)(fa)揮出(chu)來(lai)。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦位(wei)移(yi)傳感器(qi)的(de)(de)(de)工作原理(li)就是(shi)使(shi)用(yong)寬譜(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)(yuan)照射到被測(ce)物體的(de)(de)(de)表面，再通過(guo)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)儀探(tan)測(ce)反射回來(lai)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)，光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)(yuan)發(fa)(fa)出(chu)的(de)(de)(de)具有(you)寬光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)諾(nuo)的(de)(de)(de)復色光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang) 近似為(wei)(wei)(wei)點光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)(yuan)。在未來(lai)，光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦技(ji)(ji)術(shu)(shu)將繼續發(fa)(fa)展，為(wei)(wei)(wei)更多領(ling)域帶(dai)來(lai)創新和改善。通過(guo)不斷(duan)的(de)(de)(de)研究和應(ying)用(yong)，我們(men)可(ke)(ke)(ke)以(yi)期待看到更多令人振奮(fen)的(de)(de)(de)成(cheng)果，使(shi)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦技(ji)(ji)術(shu)(shu)成(cheng)為(wei)(wei)(wei)科學和工程領(ling)域的(de)(de)(de)不可(ke)(ke)(ke)或(huo)缺(que)的(de)(de)(de)一部分，為(wei)(wei)(wei)測(ce)量和測(ce)試(shi)提供更多可(ke)(ke)(ke)能性(xing)。昌平區有(you)哪(na)些光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)(gong)焦技(ji)(ji)術(shu)(shu)具有(you)軸向按層分析功能，精度可(ke)(ke)(ke)以(yi)達到納米級別。

在(zai)(zai)塑料(liao)薄膜及透明(ming)材料(liao)薄厚(hou)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)層面，朱萬(wan)彬(bin)等(deng)闡(chan)(chan)述(shu)(shu)了(le)光譜共(gong)焦(jiao)傳感器(qi)在(zai)(zai)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)全透明(ming)平板電腦的平整度(du)(du)時，由全透明(ming)平板電腦的折光率(lv)不同(tong)而引進(jin)的測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)誤(wu)差并(bing)(bing)進(jin)行(xing)(xing)補償；曹太(tai)騰等(deng)基千三維數據 測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的機器(qi)視覺技(ji)術，利用光譜共(gong)焦(jiao)傳感器(qi)對(dui)透明(ming)材料(liao)薄厚(hou)及弧(hu)形玻璃曲面薄厚(hou)進(jin)行(xing)(xing)檢測(ce)(ce)(ce)。在(zai)(zai)外(wai)(wai)表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)層面，沈雪(xue)琴等(deng)闡(chan)(chan)述(shu)(shu)了(le)不一(yi)樣 方(fang)式(shi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)外(wai)(wai)表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)時優缺點 ，選擇了(le)根據光譜共(gong)焦(jiao)傳感器(qi)的測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方(fang)式(shi)并(bing)(bing)進(jin)行(xing)(xing)了(le)有關試驗，為外(wai)(wai)表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)的高精(jing)密測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)提供了(le)一(yi)種(zhong)新方(fang)法(fa)；林(lin)杰俊等(deng)利用光譜共(gong)焦(jiao)法(fa)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)外(wai)(wai)表(biao)(biao)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)樣塊的表(biao)(biao)面粗(cu)糙(cao)度(du)(du)，并(bing)(bing)闡(chan)(chan)述(shu)(shu)了(le)其 測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)不確定度(du)(du)。文中利用小二乘(cheng)法(fa)測(ce)(ce)(ce)算校(xiao)準(zhun)誤(wu)差并(bing)(bing)進(jin)行(xing)(xing)了(le)離散系統(tong)誤(wu)差測(ce)(ce)(ce)算，減少(shao)光譜共(gong)焦(jiao)傳感器(qi)校(xiao)準(zhun)后的誤(wu)差，并(bing)(bing)在(zai)(zai)不同(tong)精(jing)密度(du)(du)標準(zhun)器(qi)下(xia)，探尋光譜共(gong)焦(jiao)傳感器(qi)的校(xiao)準(zhun)誤(wu)差的變化情況(kuang)，對(dui)今后對(dui)光譜共(gong)焦(jiao)傳感器(qi)的應用及科(ke)學(xue)研究擁有重要意義。

光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)技(ji)(ji)術由于(yu)其具有測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)精(jing)(jing)度高、測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)速(su)度快、可以(yi)實現(xian)(xian)非(fei)接觸測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)獨特優(you)勢(shi)而(er)(er)被(bei)大(da)量(liang)應(ying)用(yong)于(yu)工業級(ji)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)。讓(rang)我(wo)們先來(lai)看一下(xia)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)技(ji)(ji)術的(de)(de)起源和光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)技(ji)(ji)術在精(jing)(jing)密(mi)幾(ji)何量(liang)計量(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)試中的(de)(de)成(cheng)熟(shu)典型(xing)應(ying)用(yong)。共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯微(wei)(wei)(wei)術的(de)(de)概念首(shou)先是由美國的(de)(de) Minsky 于(yu) 1955年(nian)提(ti)出, 其利用(yong)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)原理搭建臺(tai)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯微(wei)(wei)(wei)鏡, 并于(yu)1957年(nian)申請了(le)專利。自20世紀90年(nian)代, 隨著計算機技(ji)(ji)術的(de)(de)飛速(su)發(fa)展, 共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯微(wei)(wei)(wei)術成(cheng)了(le)研究的(de)(de)熱(re)點，得到快速(su)的(de)(de)發(fa)展。光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)技(ji)(ji)術是在共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯微(wei)(wei)(wei)術基礎上發(fa)展而(er)(er)來(lai),其無需(xu)軸向掃描, 直接由波長(chang)對應(ying)軸向距離(li)信息, 從而(er)(er)大(da)幅提(ti)高測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)速(su)度。 而(er)(er)基于(yu)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)技(ji)(ji)術的(de)(de)傳(chuan)感(gan)器是近年(nian)來(lai)出現(xian)(xian)的(de)(de)一種(zhong)高精(jing)(jing)度、 非(fei)接觸式的(de)(de)新型(xing)傳(chuan)感(gan)器, 目前精(jing)(jing)度上可達nm量(liang)級(ji)。 共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)術由于(yu)其高精(jing)(jing)度、允(yun)許(xu)被(bei)測(ce)(ce)(ce)(ce)表面(mian)有更大(da)的(de)(de)傾斜角、測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)速(su)度快、實時性(xing)高、對被(bei)測(ce)(ce)(ce)(ce)表面(mian)狀況要(yao)求低、以(yi)及高分辨(bian)率(lv)的(de)(de)獨特優(you)勢(shi)，迅速(su)成(cheng)為工業測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)熱(re)門傳(chuan)感(gan)器，在生(sheng)物醫(yi)學(xue)(xue)、材料科學(xue)(xue)、半導體制造、 表面(mian)工程研究、 精(jing)(jing)密(mi)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)等(deng)領域得到大(da)量(liang)應(ying)用(yong)。光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)技(ji)(ji)術主要(yao)來(lai)自共(gong)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯微(wei)(wei)(wei)術，早期由美國學(xue)(xue)者Minsky提(ti)出。

隨(sui)著(zhu)機(ji)械加(jia)工(gong)水平的(de)(de)(de)(de)(de)不斷發展，各(ge)種的(de)(de)(de)(de)(de)微小的(de)(de)(de)(de)(de)復(fu)雜(za)工(gong)件都需(xu)要(yao)進行(xing)精(jing)(jing)(jing)密(mi)尺寸測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)與輪(lun)廓(kuo)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，例(li)如：小工(gong)件內壁(bi)溝槽尺寸、小圓(yuan)倒角等的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，對于某些精(jing)(jing)(jing)密(mi)光(guang)(guang)(guang)(guang)學元件可以(yi)(yi)進行(xing)非接(jie)觸(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)輪(lun)廓(kuo)形貌(mao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，避免在(zai)接(jie)觸(chu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)時劃傷光(guang)(guang)(guang)(guang)學表面(mian)(mian)，解(jie)決(jue)了傳統(tong)(tong)傳感(gan)(gan)器很難(nan)(nan)解(jie)決(jue)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)難(nan)(nan)題。一些精(jing)(jing)(jing)密(mi)光(guang)(guang)(guang)(guang)學元件也需(xu)要(yao)進行(xing)非接(jie)觸(chu)的(de)(de)(de)(de)(de)輪(lun)廓(kuo)形貌(mao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，以(yi)(yi)避免接(jie)觸(chu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)時劃傷光(guang)(guang)(guang)(guang)學表面(mian)(mian)。這些用(yong)傳統(tong)(tong)傳感(gan)(gan)器難(nan)(nan)以(yi)(yi)解(jie)決(jue)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)難(nan)(nan)題，均可用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦傳感(gan)(gan)器搭(da)建(jian)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)系統(tong)(tong)以(yi)(yi)解(jie)決(jue)。通過自行(xing)塔(ta)建(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)二(er)維納米測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)定位裝置(zhi)，選用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)其焦傳感(gan)(gan)器作(zuo)為測(ce)(ce)(ce)頭，實現測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)超精(jing)(jing)(jing)密(mi)零件的(de)(de)(de)(de)(de)二(er)維尺寸，滾針對渦輪(lun)盤輪(lun)廓(kuo)度(du)檢測(ce)(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)問題，利用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦式位移傳感(gan)(gan)器使(shi)得(de)渦輪(lun)盤輪(lun)廓(kuo)度(du)在(zai)線檢測(ce)(ce)(ce)系統(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)設計(ji)能夠(gou)得(de)以(yi)(yi)實現。與此同時，在(zai)進行(xing)幾(ji)何(he)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)整體(ti)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)過程中，還需(xu)要(yao)采取多(duo)種不同的(de)(de)(de)(de)(de)方式對其結構體(ti)系進行(xing)優化。從而讓(rang)幾(ji)何(he)尺寸的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)更為準確。光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦位移傳感(gan)(gan)器可以(yi)(yi)實現非接(jie)觸(chu)式位移測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)。豐臺區光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦廠家

光譜共焦(jiao)技術可以對生物(wu)和(he)材料的(de)(de)物(wu)理(li)、化學、生物(wu)學等多(duo)個方(fang)面進行(xing)分析。宿州光譜共焦(jiao)的(de)(de)用(yong)途和(he)特點

共(gong)焦測(ce)量(liang)(liang)(liang)方法(fa)由于(yu)具有高精(jing)度(du)的(de)三維(wei)成像能力，已經(jing)大量(liang)(liang)(liang)用于(yu)表(biao)面(mian)輪(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)與三維(wei)精(jing)細結構的(de)精(jing)密測(ce)量(liang)(liang)(liang)。本文通(tong)過分析白(bai)光(guang)共(gong)焦光(guang)譜(pu)的(de)基本原理，建立了(le)透明靶(ba)丸(wan)內表(biao)面(mian)圓(yuan)周輪(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)測(ce)量(liang)(liang)(liang)校準模(mo)型;同(tong)時(shi)(shi)，基于(yu)白(bai)光(guang)共(gong)焦光(guang)譜(pu)并結合精(jing)密旋轉(zhuan)軸系(xi)，建立了(le)靶(ba)丸(wan)內表(biao)面(mian)圓(yuan)周輪(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)精(jing)密測(ce)量(liang)(liang)(liang)系(xi)統和靶(ba)丸(wan)圓(yuan)心精(jing)密定位方法(fa)，實現了(le)透明靶(ba)丸(wan)內、外表(biao)面(mian)圓(yuan)周輪(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)的(de)納米(mi)級精(jing)度(du)測(ce)量(liang)(liang)(liang)。用白(bai)光(guang)共(gong)焦光(guang)譜(pu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)靶(ba)丸(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)內表(biao)面(mian)輪(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)數(shu)據時(shi)(shi)，其測(ce)量(liang)(liang)(liang)結果與白(bai)光(guang)共(gong)焦光(guang)譜(pu)傳感(gan)器光(guang)線的(de)入射角、靶(ba)丸(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)厚(hou)度(du)、殼(ke)層(ceng)(ceng)材(cai)料折(zhe)射率、靶(ba)丸(wan)內外表(biao)面(mian)輪(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)的(de)直(zhi)接(jie)測(ce)量(liang)(liang)(liang)數(shu)據等因素緊密相(xiang)關(guan)。宿州光(guang)譜(pu)共(gong)焦的(de)用途和特(te)點

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